【IT168 使用技巧】 注:B=显影偏压调节因素,由SP2-201-001选择。
BP=制作Vsp样图的显影偏压校正,由SP2-203选择。
BL=在最近一次强制VL检测程序中所达到的显影偏压数值。
VBL=基于制作VSP样图的当前ID校正的ID补偿因子。
【IT168 使用技巧】 注:B=显影偏压调节因素,由SP2-201-001选择。
BP=制作Vsp样图的显影偏压校正,由SP2-203选择。
BL=在最近一次强制VL检测程序中所达到的显影偏压数值。
VBL=基于制作VSP样图的当前ID校正的ID补偿因子。